سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۱۱

نویسنده(ها):

معصومه مقدسی – دانشگاه تربیت معلم تهران گروه فیزیک
محمداسماعیل عظیم عراقی –

چکیده:

دراین کار نمونه هایی از ویفر سیلیکان نوع P به روش آنودی سازی الکتروشیمیایی درالکترولیت شامل DMF و اسید HF و همچنین اتانول C2H5OH) و اسید HF متخلخل گردید تاثیر پارامترهایی همچون زمان آندی سازی چگالی جریان و غلظت الکترولیت برساختار تخلخل بررسی شده و تصویر sEM سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار آورده شده است همچنین رفتار الکتریکی لایه های سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار درحضور گاز N2 بررسی شده و می توان از آن به عنوان حسگر گازی استفاده کردانرژی فعال سازی یک نمونه نانوساختار سیلیکان ماکرو متخلخل با یک نمونه نانوساختار سیلیکان مزومتخلخل با هم مقایسهشده است و به این نتیجه رسیدیم که انرژی فعال سازی نمونه ی نانوساختار سیلیکان ماکرو متخلخل بیشتر است دراین تحقیق نشان دادهشده که سیلیکان متخلخل نسبت به گاز CO2 درمقایسه با گاز N2 حساستر می باشد