سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: پانزدهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

مهدی مرادی – دانشگاه صنعتی مالک اشتر
سعید گودرزی – دانشگاه آزاد قزوین
سجاد قاسملو – دانشگاه صنعتی مالک اشتر

چکیده:

این مقاله مدل و ساختارکاملی ازیک خازن متغیر میکروالکترومکانیک را ارایه میدهد که ازلحاظ تئوری قادر به بدست آوردن محدوده تنظیم نامحدودی است که برای نخستین بار مسائل مربوط به تنش و تنش پسماند بطور همزمان حل شده اند دوخازن طوری ساخته می شوند که ولتاژ تحریک آنها ۴٫۵ و ۵ ولت که مطابق با محدوده تنظیم ۳:۱و۳٫۴۲:۱ است بدست آید برای آنکه خازنهای متغیر مورد نظر در مقایسه با خازنهای متغیر دیگر که با روند یکسان تولید شده اند عملکرد بهتر و محدوده تنظیم بیشتری را داشته باشند شبیه سازی و اندازه گیری ها اصلاح میگردند درادامه مدلی از المان محدود که براساس تطبیق ساختاری الکترواستاتیکی است ارایه می گردد.