سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۷

نویسنده(ها):

محمد ندیمی – دانشگاه علم و صنعت ایران دانشکده برق
زهره صداقتی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد قزوین

چکیده:

اساسی ترین قدم در ساخت و توسعه ادوات نیمه هادی فرایندلیتوگرافی است رشد تکنولوژی درهمه تجهیزات الکترونیکی نظیر مدارات مجتمع ادوات اپتوالکترونیک صفحه نمایشهای مسطح و همه بسته های الکترونیکی همگی بستگی به تکنولوژی لیتوگرافی دارد اهمیت فرایندلیتوگرافی درساخت مدارات مجتمع تا حدی است که درحدود یک سوم هزینه ادوات الکترونیکی را به خود اختصاص داده است لذا رشدو توسعه تکنولوژی لیتوگرافی و سیستمهای وابسته به ان درزمینه پیشرفت صنیاع الکترونیکی از جایگاه ویژه ای برخوردار است مهمترین پارامتر درصنعتلیتوگرافی میزان دقت و قابلیت تفکیک یا قدرت تفکیک میب اشد امروزه هدف محققان آنست که بتوان این میزان را به ابعاد زیر۱۰۰ نانومتر و حتی در محدوده های چندنانومتر رساند دراین مقاله با استفادها ز فناوری و علم نانو لیتوگرافی اتمی برای رسیدنبه هدف مذکور مورد مطالعه و بررسی قرارگرفته است.