سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: چهاردهمین کنفرانس دانشجویی مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

محمدصالح رستمی – موسسه آموزش عالی سجاد
علیرضا دهقان – موسسه آموزش عالی سجاد

چکیده:

دراین مقاله ابتدا به بررسی ساختار و معادلات حاکم بر عملکرد دسته ای از ادوات MEMS شامل فیلترهای SAW برپایه امواج اکوستیکی سطحی در مواد پیزوالکتریک پرداخته و سپس تاثیر مواد و تکنولوژی براین نوع از فیلترها و توان قابل تحمل بررسی می گردد فیلترهای SAW به دلیل داشتن قابلیت اطمینان بالا و پایداری بصورت گسترده در سیستمهای مخابراتی فرکانس بالا مورد استفاده قرار میگیرند در این پژوهش به کمک مدلهای ارائه شده عملکرد الکترودهای شانه ای مورد بررسی قرارگرفته و تاثیر خواص ماده پیزوالکتریک مورد استفاده بررسی و ارزیابی می شود.