سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

فاطمه زارعیان – مرکز تحقیقات میکروالکترونیک دانشگاه ارومیه
ابراهیم عباسپورثانی –
نیکو قاسمی –

چکیده:

یک شتابسنج خازنی با ساختاری نوین و با دو درجه آزادی طراحی و شبیه سازی شده است. ساختار شتابسنج به گونه ای است که شتاب های وارد شده به سیستم در جهات z و xبا روابط ریاضی ساده قابل تفکیک و اندازه گیری می باشند. این در حالی است که شتاب اعمال شده در جهتy هیچگونه اثر ناخواسته ای در اندازه گیریهای شتابهای جهات z و x ندارد. این شتابسنج برای اندازه گیری شتاب های تا۲g با رزولوشنmg طراحی شده است. نتایج شبیه سازی این ادعا را تایید می کند. ابعاد کلی این ساختار mm2× ۲mm × ۷μm می باشد.