سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: اولین کنفرانس ملی نانوالکترونیک ایران

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

ابوالفضل امیری – دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر ، گروه برق و الکترونیک ، بوشهر ، ایران
سیدمصطفی بیژنی –
موسوی –

چکیده:

از سوئیچ هایRF MEMS در کاربردهای مخابراتی و نظامی استفاده می شود . این مقاله به بیان طراحی جدید و آنالیز سوئیچ میکروالکترومکانیکی با دو الکترود قابل حرکت برای رسیدن به همزمانی در ولتاژ تحریک طی زمان سوئیچ می پردازد که در حدود ۳۳% اصلاح در ولتاژ تحریک به همراه ۰۳ % کاهش در زمان سوئیچ می تواند با چنین طراحی بدست آید.همچنین روش ساخت بدون اصطکاکstiction free(که برای ساخت سوئیچ گفته شده است در ارتباط با استفاده از دو زیر لایه سیلیکونی محصور شده به هم می باشد