سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: اولین کنفرانس بین المللی نفت، گاز، پتروشیمی و نیروگاهی

تعداد صفحات: ۹

نویسنده(ها):

پرستو نوذری – دانشجوی دکتری مهندسی برق الکترونیک
مهدی خسروی – کارشناسی ارشد مهندسی برق الکترونیک
ارسطو نوذری – کارشناسی مهندسی برق مخابرات

چکیده:

در این مقاله یک میکرو تیرک جدید سیلیکنی بسیار حساس به همراه استرین گیج پیزو مقاومتی مجتمع شده uشکل بر روی آن مورد استفاده در فلومتر های گازی را بهینه سازی و یک سیستم بازخوانی پیزو مقاومتی جدید را معرفیمی نماییم. برای اصلاح حساسیت سنسورها ی میکرو تیرکی ،این مقاله مشخصه های خمش ،لرزش و ماکزیمم استرس میکروتیرک های مستطیلی و ذوزنقه ای شکل را آنالیز و مقایسه می نماییم .در نتیجه یک میکرو تیرک جدید ذوزنفه ایشکل با حساسیتی بسیار بیشتر از انواع سنتی آن طراحی شده است.استرس سطحی ، به صورت نیروی کششی درون صفحه ای که به لبه بالایی میکروتیرک وارد شده مدل شده است. نرم افزار ANSYS به عنوان ابزار طراحی و مدلسازی خصوصیات مکانیکی میکروتیرکهای مبتنی بر سیلیکن استفاده شده است. مدلسازی میکروتیرک با معادلات اویلر- برنولی و فرمولهای استونی برای محاسبه مومنتوم استرس سطحی و خمش انجام شده است.برای انتخاب حساس ترین میکروتیرک ،ابعاد با استفاده از الگوریتم ژنتیک بهینه سازی شده است.نتایج شبیه سازی از تطابق بسیار بالایی برخوردار می باشند