سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: اولین کنفرانس ملی نانوالکترونیک ایران

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

بهشته طهماسب پور – دانشجوی کارشناس ارشد فیزیک حالت جامد پیام نور تهران
علی بهاری – دکترای فیزیک حالت جامد دانشگاه مازندارن
سیدعلی هاشمیزاده – دکترای فیزیک حالت جامد پیام نور تهران
فاطمه وثوقی – دانشجوی کارشناس ارشد فیزیک حالت جامد پیام نور تهران

چکیده:

برای رشد فیلمهای فرانازک تمیز در مقیاس نانو و عملیات لایهنشانی به محفظههای فرا خلأ مستحکم نیاز است اما شکافهای محفظه که ناشی از نانوپودرهای فولاد زنگنزن آستنیتیک است، استحکام محفظه را کاهش میدهد. به همین دلیل در این مقاله،سنتز با انتخاب پیشمادههای مناسب در ماتریس فولاد زنگنزن آستنیتیک،به روش سل- ژل انجاممیشود. به کمک فورو کوره لایه نشانیCVD نمونههای تولید شده را به صورت پودرهایی در مقیاس نانو درمیآوریم. با استفاده از طیفهای پراش پرتو ایکس XRD( وهمینطور تکنیکX-Powder اندازه ابعادی نانو بلورکها را تعیین میکنیم. سپس بااستفاده از میکروسکوپ پیمایشی الکترونیSEM مورفولوژی نمونهها را مورد بررسی قرار میدهیم.