سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

امین آقایی روزبهانی – دانشگاه صنعتی مالک اشتر مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک،
احمد عفیفی –
محمدامین بصام –

چکیده:

هد دستگاه های ذخیره ساز اطلاعات نوری ) – CD ، DVD و Blue Ray ( برای حفظ اتوماتیک فاصله کانونی لیزر تا دیسک از روش آستیگماتیسم برای خودکانونی بهره می گیرند. در این مقاله، با استخراج مشخصه های هد نوری، آشکارساز و محرک های الکترومغناطیسی دستگاه DVD ، زیرسامانه خود کانونی با دقت میکرومتری طراحی و ساخته شده است که می تواند به عنوان یک سنسور نوری دقیق جهت نگهداری زیرلایه در ارتفاع مناسب از لیزر در دستگاه لیتوگرافی مستقیم لیزری بکار رود. لیتوگرافی مستقیم لیزری کاربرد فراوانی در ساخت قطعات میکروالکترونیک، میکروفوتونیک و MEMS دارد و بوسیله آن می توان لیتوگرافی این قطعات را در ابعاد میکرون و حتی زیر میکرون انجام داد. این سامانه از لیزری با طول موج ۶۵۰ نانومتر و توان ۱/۲میلی وات استفاده می کند و لکه ای با قطر ۹۰۰ نانومتر را بر روی زیرلایه ایجاد می نماید.