سال انتشار: ۱۳۹۱

محل انتشار: اولین همایش بین المللی و ششمین همایش مشترک انجمن مهندسی متالورژی ایران

تعداد صفحات: ۷

نویسنده(ها):

امیر لطفی کلجاهی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران، مرکز تحقیقات پلاسما
هادی سرالونی – دانشگاه تهران، دانشکده علوم، گروه فیزیک، تهران، ایران

چکیده:

لایه های نازک مس بر روی زیرلایه شیشه به روش تبخیر با تفنگ الکترونی در شرایط خلاء در زاویه ۴۰ درجه انباشت شده اند، وسپس در دماهای مختلف تحت شار نیتروژن، بازپخت شده اند. اثر شار نیتروژن در دما های مختلف بازپخت بر روی ساختار و مورفولوژی سطح لایه های نازک مس توسط آنالیزهای پراش اشعه ایکسXRD)میکروسکوپ نیروی اتمیAFM) موردبررسی قرار گرفته است. نتایج آنالیز پراش پرتوxحاکی از تشکیل فازهای ازاید مس است، اندازه بلورک ها، اندازه دانه ها و زبری محاسبه شده و نشان می دهد با افزایش دمای بازپخت ، این کمیت ها افزایش می یابند