سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

نرگس دوستانی دزفولی – دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس
سارا درباری – آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
شمس الدین مهاجرزاده – آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
محمدکاظم مروج فرشی – دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس

چکیده:

از نانولولههای کربنی به عنوان کاتد سرد در ساخت حسگر فشار گاز استفاده شده است. نانولولهها به صورت عمودی به روشPECVD روی زیر لایه سیلیسیومی ریزماشینکاری شده رشد داده شدهاند. حسگر فشار به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالی از غشاء سیلیسیومی انعطافپذیری که به کمک زدایش زیرلایه بهدست آمده استفاده میکند. غشاء با تغییر فشار ورودی خم میشود و با تغییر فاصله آند – کاتد جریان گسیلی تغییر میکند. رشد نانولولهها در الگوهای ریزماشینکاری شده با استفاده از دستگاهSEMبررسی شده است.