سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۳

نویسنده(ها):

Z Sanaee –
m poudineh –
m mehran –
s mohajerzadeh –

چکیده:

دراین مقاله روش جدیدی برای زدایش خشک براساس استفاده ازگازهای SF6 H2 # O2 معرفی شده است این روش از پلاسما با چگالی پایین و با کوپلاژ خازنی دریک دستگاه معمولی RIE استفاده می کند و براساس روش ترتیبی زدازیش و حفاظت کارم ی کند زدایش در مقیاس نانو و میکرومتر با نرخ زدایش از ۰٫۲۵ تا ۱٫۵μm/min محقق شده است.