سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

حوریه زارعی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات دانشکده فیزیک پلاسما تهران
یوسف سیدجلیلی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات دانشکده فیزیک پلاسما تهران
هادی زهرابی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرمانشاه

چکیده:

لایه های تیتانیوم برروی ویفر سیلیکون با ضخامتهای ۱۰۰، ۲۰۰ و ۴۰۰ نانومتر لایه نشانی شده اند سپس نانوساختار های اکسید روی به روش لایه نشانی بخار شیمیایی CVD برروی زیرلایه های تهیه شده رشد داده شده اند ساختار کریستالی آنها توسط آنالیز طیف پراش اشعه XRD) X بررسی می شود آنالیز XRD برتشکیل نانوساختارهای اکسید روی برروی نمونه هایی که ازکاتالیست تیتانیوم استفادهشده دلالت دارد تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM تشکیل نانوساختارهای اکسید روی را نشان میدهد