سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین کنفرانس ملی تخلیه های الکتریکی، پلاسما و مهندسی پلاسما

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

علی رحمتی – گروه فیزیک -دانشکده علوم پایه- دانشگاه ولی عصر رفسنجان ؛ گروه فیزیک حا
محمد خان زاده – گروه فیزیک – دانشکده علوم پایه – دانشگاه ولی عصر رفسنجان

چکیده:

تغییر ولتاژ کاتد و مشخصه I- V در تخلیه مگنترونی DC در مخلوط گازی N2/Ar در حضور اهداف آلیاژی Ti13Cu87 بر حسب فشار جزیی نیتروژن بررسی شده است. در یک توان تخلیه ثابت و فشار جزیی ثابت Ar ولتاژ کاتدی بر حسب فشار جزیی نیتروژن یک رفتار پسماندی از خود نشان می دهد . در فشارهای جزیی ثابت Ar و N2 جریان تخلیه بر حسب ولتاژ کاتدی به صورت (فرمول در متن اصلی مقاله) تغییر می کند که Vmin ولتاژ کمیته برای شروع تخلیه است که به ترکیب شیمیایی گاز و سطح هدف بستگی دارد. با استفاده از یک مدل ساده از واکنشها در محیط پلاسما ، شار یونی ، چگالی گونه های خنثی و محصول گسیل الکترون ثانویه در فشارهای جزیی مختلف نیتروژن محاسبه شده است.