سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

محمدعلی مقری موذن – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج باشگاه پژوهشگران جوان گروه فیزیک
علیرضا هژبری – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
سوده کدخدایی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
فاطمه حاج اکبری – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

چکیده:

امروزه کاربردهای متنوع عملی و صنعتی لایه های نازک اهمیت توسعه فناوری لایه های نازک را مورد توجه قرارداده است دراین تحقیق ما لایه های نازک مس را برروی زیرلایه ای از شیشه در ۳ زمان ۴، ۸و۱۲ دقیقه با توان ۳۰w درمحیط گاز آرگون به روش کندوپاش مغناطیسی DC دردمای اتاق انباشت نمودیم مشخصه یابی لایه های تهیه شده با کمک پراش اشعه (XRD) X و میکروسکوپ نیروی اتمی AFM که به ترتیب برای توصیف خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه ها به کار می روند صورت پذیرفت نتایج این تحقیق نشان داد که زمان لایه نشانی نقش مهمی برضخامت و میانگین اندازه بلورکهای لایه های مس دارد و با افزایش زمان میانگین اندازه بلورکها افزایش می یابد و مورفولوژی سطح نیز کاملا تغییر می کند.