سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

فاطمه حاج اکبری – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
مریم سادات هدایتی –
علیرضا هژبری –

چکیده:

دراین پژوهش ابتدا لایه های نازک مس به روش کندوپاش مغناطیسی Dc برروی زیرلایه سیلیکانی انباشت شده و سپس درکوره های الکتریکی درمجاورت هوا تحت دماهای مختلف بازپخت شدند لایه های نازک بدست آمده با استفاده از آنالیز های پراش پرتوایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرارگرفته و فازهای CuO .Cu و Cu2O شناسایی شدند همچنین نتایج آنالیزهای فوق نشان میدهد که دمای بازپخت تاثیربسزایی در ساختار و مورفولوژی سطح لایه های فوق دارد