سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۷

نویسنده(ها):

تهمینه امیری – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج دانشکده علوم
علیرضا هژبری –
کیومرث یاسریان –

چکیده:

تیتانیوم به روش کندوپاش مغناطیسی DC برروی زیرلایه های سیلیکان و کوارتز انباشت شد نمونه ها در کوره تحت گاز اکسیژن با فلوی sccm/min100 و دردماهای ۳۰۰، ۵۰۰ ، ۷۰۰ و ۱۰۰۰ درجه سانتی گراد به مدت یک ساعت قرارگرفت تاثیر دمای بازپخت برروی خواص ساختاری لایه های نازک TiO2 بوسیله آنالیز XRD مورفولوژی سطح توسط آنالیز AFM بررسی شد با افزایش دمای بازپخت و کریستالوگرافی سطح از حالت آمورف به سه حالت آناتاس روتایل و بروکیت تغییر نمود زبری سطح و اندازه بلورک ها نیز تغییر یافت.