سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۱۰

نویسنده(ها):

معصومه معرفتی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
فرزانه صفدریان –
سیدمجید برقعی –

چکیده:

دراین پژوهش ابتدا سه نمونه فیلم نازک تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای برروی زیرلایه سیلیکون با زمان کندوپاش ۱/۵ دقیقه تحت شرایط کاملا یکسان درحضور گازآرگون تهیه گردید در مرحله بعد دو نمونه از فیلم ها به مدت ۴۵ دقیقه تحت بازپخت دردو دمای متفاوت ۷۵۰ دره و ۹۰۰ درجه و یک نمونه به مدت ۶۰ دقیقه تحت بازپخت دردمای ۷۵۰ درجه قرارگرفت از آنالیز های پراش اشعه ایکس XRD میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و آنالیز میکروسکوپ الکترونی رویشی SEM نیز به ترتیب برای تشخیص جهت ترجیحی دانه ها بررسی مورفولوژی سطح و اندازه گیری سایز دانه ها استفاده شد نتایج آنالیز XRD بیانگر شکل گیری فاز β دردمای ۷۵۰ درجه و درزمان ۴۵ دقیقه می باشد با افزایش دمای باز پخت به ۹۰۰درجه تغییر فاز از β به a بدون هیچ انحرافی مشاهده شد اما با افزایش زمان بازپخت نتیجه بیان شده با انحرافی معادل ۰/۲ درجه مشاهده گردید. بهدلیل تغییر فاز از β به a زبری سطح نمونه ها با افزایش دما و زمان بازپخت کاهش یافت که این نتیجه توسط آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی AFM بدست آمد.