سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: اولین همایش ملی نانومواد و نانو تکنولوژی

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

محبوبه فتحی کناری – گروه نانوفیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات حصارک بعد از مید
محمود قرآن نویس –
سعید نصیری –

چکیده:

دراین پروژه با توجه به اینکه هدف پروژه بررسی وابستگی پارامترهای ساختاری به پارامترهای رشد و معرفی نقطه بهینه رشد می باشد دوپارامتر زمان رشد و فشار گاز ورودی به سیستم به عنوان پارامتر مستقل انتخاب شده و تغییرات پارامتری ساختاری مانند میزان متوسط زبری سطح درصدکریستالیته و سایز کریستال الماس نسبت به این پارامترها بررسی شدهاست دراین پروژه از سیستم رسوبگذاری بخار شیمیایی فیلمان داغ HFCVD) به عنوان فرایند و ازگازهای کربن دار مانند متان و گازهای رقیق کننده مانندهیدروژن استفاده شدهاست نتایج نشان میدهد که بالاترین میزان زبری درزمانهای ۳۰ دقیقه ۱۶٫۲ نانومتر و ۶۰ دقیقه ۱۵٫۶ نانومتر و درفشار گازی ۱۰ ۱۶٫۲ نانومتر و ۱۵۰ تور ۱۵٫۳ نانومتر و بالاترین سایز الماس کریستالی درزمان رشد ۳۰ دقیقه و درفشار ۱۰ تور ۱٫۲۳ نانومتر بدستآمدها ند.