سال انتشار: ۱۳۸۹

محل انتشار: چهارمین همایش مشترک انجمن مهندسین متالورژی و جامعه علمی ریخته گری ایران

تعداد صفحات: ۱۱

نویسنده(ها):

حمید رضا شفیعی – گروه مهندسی مواد ،دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
احمد علی آماده – دانشیار دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانش
شاهرخ آهنگرانی – استادیار ، سازمان پژوهشهای علمی ایران
هادی مرادی – کارشناس ارشد مهندسی متالورژی و مواد، پژوهشکده علوم و فناوری مهام-گرو

چکیده:

روش PACVD بخاطر استفاده از محیط پلاسما دمای پوشش دهی کمتری نسبت به روش CVD معمولی دارد (۵۵۰-۴۵۰ درجه سانتیگراد). دمای پوشش دهی این روش معمولا کمتر از دمای تمپر اکثر فولادهای ابزار است، به همین دلیل روش مناسبی جهت ایجاد پوشش های نیتریدی از جمله TiN بر روی فولادهای ابزار می باشد. در یان تحقیق جهت ایجاد پوشش TiN بر روش فوق از مخلوط گازهای TiCl4, H2, N2 و Ar به عنوان پیش ماده استفاده شد و پوشش TiN در دماهای ۴۵۰ و ۴۸۰ و ۵۲۰ درجه سانتیگراد بر روی فولاد ابزار تندبر DIN1.3355 رسوب گذاری شد. سپس آنالیز شیمیایی، ریز ساختار ، ساختار کریستالی و توپوگرافی پوشش ها بوسیله میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرار گرفتند. نتایح نشان دادند که TiN ایجاد شده دارای رشد جزیره ای ساختار گل کلمی بوده و با افزایش دمای لایه نشانی اندازه دانه های TiN و همچنین ضخامت لایه ایجاد شده افزایش می یابد.